Определение характеристик сегнетоэлектрических тонких пленок с помощью спектроскопической эллипсометрии PbZr1-xTixO3 и Ba1-xSrxTiO3

| 693 Время чтения:

Тонкая пленка BST, нанесенная на полированные сапфировые подложки с использованием импульсного лазерного осаждения (PLD)

Тонкие ферроэлектрические пленки привлекают большое внимание для потенциальных применений, таких как конденсаторы с высокой диэлектрической постоянной, инфракрасные детекторы, пьезоэлектрические преобразователи, оптические модуляторы, оптические волноводы, микросхемы энергонезависимой памяти и конденсаторы для динамической памяти с произвольным доступом (DRAM). Их сегнетоэлектрические и диэлектрические свойства широко исследовались, а их оптические свойства изучались относительно редко.

Однако оптические константы, например показатель преломления и коэффициент экстинкции, имеют большое значение для волноводов и других оптических приложений. Спектроскопический эллипсометр с фазовой модуляцией (PMSE) был использован для определения оптических констант материалов PZT и BST.

Cпектр на рисунке показывает многочисленные интерференционные полосы. Наименьший период соответствует анизотропному поведению сапфира в дополнение к отражению с обратной стороны, а больший период связан с покрытием BST.


Более подробную информацию Вы можете получить по ссылке ниже:
Ferroelectric Thin Films Characterization by Spectroscopic Ellipsometry PbZr1-xTixO3 & Ba1-xSrxTiO3
Источники:
Céline Eypert - Application Scientist - Thin Film Division Horiba
Вернуться |

Задайте свой вопрос

Статьи

Металлы износа в маслах
Lubricating oils are used in very difficult conditions in engines reaching high temperatures and varying pressure
conditions in contact with many metallic parts.
Выбор и приобретение ICP спектрометра.
Ключевые параметры по выбору ICP
Двойной обзор плазмы
Расходные материалы
Спектральное разрешение
Сточные воды и анализ почвы
Анализ пяти различных проб сточных вод и почвы
Измерение толщины углеродных покрытий
Анализ толщины и оптических постоянных аморфных углеродных покрытий методом спектральной эллипсометрии
Обзор технологии фазовой модуляции
Фазовая модуляция позволяет достичь большей чувствительности в определении характеристик толщины и оптических постоянных тонких пленок в сравнении с традиционными эллипсометрами.
Количественный анализ почвенных экстрактов
The ICP technique is widely accepted in agriculture institutions for the determination of major and minor elements in soils and plant, heavy metal content in soils, receiving industrial waste and environmental monitoring of soils.
ICP Повторяемость следовых и основных элементов в воде
This application note examines the analysis repeatability of trace and major levels of elements in a water sample.
Точный анализ агрегации белков
Агрегация белков - важная проблема при разработке и производстве биотерапевтических средств.
Анализ смазочных масел
The spectrometric analysis of lubricating oil is common practice where large amount of lubricating oils are involved or where engine wear is critical.
Новости 1 - 20 из 29
Начало | Пред. | 1 2 | След. | Конец