Тонкие ферроэлектрические пленки привлекают большое внимание для потенциальных применений, таких как конденсаторы с высокой диэлектрической постоянной, инфракрасные детекторы, пьезоэлектрические преобразователи, оптические модуляторы, оптические волноводы, микросхемы энергонезависимой памяти и конденсаторы для динамической памяти с произвольным доступом (DRAM). Их сегнетоэлектрические и диэлектрические свойства широко исследовались, а их оптические свойства изучались относительно редко.
Однако оптические константы, например показатель преломления и коэффициент экстинкции, имеют большое значение для волноводов и других оптических приложений. Спектроскопический эллипсометр с фазовой модуляцией (PMSE) был использован для определения оптических констант материалов PZT и BST.
Cпектр на рисунке показывает многочисленные интерференционные полосы. Наименьший период соответствует анизотропному поведению сапфира в дополнение к отражению с обратной стороны, а больший период связан с покрытием BST.
Ferroelectric Thin Films Characterization by Spectroscopic Ellipsometry PbZr1-xTixO3 & Ba1-xSrxTiO3
